近日,知名咨询机构Yole Group发布《Greater China MEMS Industry 2025》(2025年大中华区 MEMS 产业)报告,这是其首次对中国的MEMS产业出具报告。
Yole的年度MEMS 行业现状报告(Status of the MEMS Industry report)较为知名,该报告最早于2002年发布,一般每年度更新一次,是全球MEMS产业较为认可的行业报告。
在《Greater China MEMS Industry 2025》报告中,Yole主要对中国(含台湾省)的MEMS产业生态进行详细分析,相关数据涵盖技术能力、营收范围、供应链等,报告还阐述了中国 MEMS产业最具发展前景的增长机遇和关键市场驱动因素。
下面,我们从公开资料窥视Yole这份报告中描述的中国MEMS产业生态现状。
17亿美元,8.4%增长,占全球市场份额10%,54亿颗MEMS器件出货量
报告认为,中美贸易战加速了中国半导体和微机电系统(MEMS)产业的发展,因此,中国 MEMS 生态系统正在日益壮大。
宏观数据方面,报告显示,2024年,中国的MEMS产业营收规模达到17亿美元(约合121亿元人民币),较2023年增长8.4%,MEMS器件出货量达到54亿颗,占全球 MEMS 市场份额的 10%。
Yole 集团的 MEMS 与传感技术与市场高级分析师Pierre-Marie Visse 认为,这一势头将持续下去,2025 年将恢复到新冠疫情前的增长状态,所有终端市场(从消费市场到汽车和工业市场)的大趋势将推动需求增长。
Yole预计,在持续的投资、设计能力日趋成熟以及本地需求不断增长的支持下,中国的MEMS市场营收2024-2030年复合年增长率(CAGR)为3.6%,到2030年中国市场MEMS器件出货量将突破66亿颗,营收规模将达到20亿美元。
作为对比,此前Yole的《Status of the MEMS Industry 2025》报告指出,全球MEMS产业2024年营收规模约为154 亿美元(同比增长 5%),出货量超过310亿颗。Yole预计到 2030 年,全球MEMS 市场规模将达到 192 亿美元,2024 年至 2030 年期间的复合年增长率将达到 3.7%。
可见,相比中国市场对MEMS器件的庞大需求,中国的MEMS产业规模仍然较为弱小,且未来几年这一市场困境的变化可能不大。
中国MEMS厂商集中在中低端消费市场,中高端应用仍未做好准备!这些领域是中国MEMS厂商的机遇,性能是中国MEMS厂商能否重塑全球市场的关键!
中国的MEMS产业拥有丰富的器件产品,包括压力传感器、惯性传感器、麦克风等等,总体来看,目前中国的 MEMS 产业主要集中在中低端消费市场。
与全球市场类似,中国的消费电子市场对MEMS器件的需求最为庞大,如可穿戴设备(TWS 耳机或智能手表等),这些应用大量使用惯性传感器、麦克风和压力传感器。
由于市场对MEMS器件性能和可靠性的要求,中国MEMS厂商亦致力于消费电子MEMS市场的研发和生产,主要厂商如士兰微(Silan)、明皜传感(MiraMEMS)、瑞声科技(AAC)、歌尔微(Goermicro)、敏芯股份(MEMSensing)等,参与了这些器件的研发。
此外,可穿戴设备的兴起也带来MEMS微型扬声器的发展机遇,MEMS微型扬声器相比传统扬声器产品,具有高集成性、防尘防水等优势。目前,MEMS扬声器的主要厂商并非来自中国,但多家中国MEMS公司正在积极研发相关技术。
与消费市场相比,汽车市场对性能和可靠性的要求更高,情况也有所不同——相对来说,除消费电子市场外,中国MEMS公司在汽车、工业、医疗等领域的研发参与度大大减小。
目前,中国的安全关键型MEMS领域仍由主要的 MEMS 国际厂商,如博世、恩智浦、意法半导体等提供产品,此类应用对性能和可靠性的要求很高,而中国企业尚未做好应对准备。
关键MEMS领域被国际巨头把持,中国MEMS厂商的市场机遇在哪里?
Yole认为,随着人们对车内舒适度的关注日益提高,这为 MEMS 麦克风带来发展机遇——而全球主要的MEMS麦克风厂商来自中国。
据此前Yole等相关包括显示,全球MEMS麦克风主要中国厂商包括歌尔微、瑞声科技、敏芯股份、钰太科技等,均处于全球TOP 5的地位,其中歌尔微是全球最大的MEMS麦克风企业。

▲图表来源:歌尔微
其他应用,例如电池组的冲击检测或车辆停放状态检测,也将为 MEMS 惯性传感器创造机遇,这对中国MEMS厂商来说也是不错的机会。
工业领域,工业市场需要高性能、高可靠性的设备,显然这方面目前中国MEMS厂商仍未做好准备。但有些应用,例如机器健康监测和预测性维护——只需要一个加速度计就能了解泵或电机的运行状况,从而避免故障,MEMS麦克风也可以用于此类应用——中国的企业就已参与了这些MEMS应用的研发。
预计未来几年,医疗终端市场也将成为 MEMS 传感器的主要销售增长点。其中,Yole认为,非医用级的助听器市场将会出现强劲的增长势头,为 MEMS 麦克风、微型扬声器和运动传感器开辟新的市场增长点,中国MEMS厂商均参与了这三类设备的研发和生产。
此外,热电堆器件亦是中国MEMS厂商的重要收入来源,在新冠疫情期间,中国MEMS厂商在满足体温计的热电堆器件需求暴增方面发挥了重要作用。
Yole在报告中,亦提及MEMS光开关,将是中国厂商的另一个机遇。
各国不断增长的数据流量和对人工智能的巨额投资推动了MEMS光开关等通信器件的应用,中国MEMS厂商正积极参与MEMS光开关(MEMS微镜)等器件的研发。
MEMS 技术对于冷却系统等器件也具有巨大潜力,因为与传统技术相比,其更小的尺寸(主要体现在厚度方面)对于微型集成而言是一项真正的优势。
虽然MEMS光开关、MEMS冷却器、MEMS扬声器等多种MEMS器件目前仍处于发展初期,但Yole认为,随着市场的快速发展,其应用前景将十分广阔。
从这里可以窥视,Yole认为新兴的MEMS器件或是中国厂商的机遇所在。
Yole 集团的 MEMS 与传感技术与市场高级分析师Clyde Midelet称,中国的 MEMS 生态正步入新的成熟阶段。消费应用依然是其基石,但汽车、工业和医疗领域蓬勃发展,这得益于强大的本地制造能力、积极的投资以及高性能 MEMS 本地化生产的雄心。

如前文所述,Yole认为,中国的 MEMS 产业主要集中在中低端消费市场。对于汽车领域的高可靠性传感器而言,目前仍处于起步阶段,因此许多中国MEMS企业和老牌厂商倾向于研发高性能、高精度传感器,旨在实现进口替代和供应链本地化。
由于这种趋势,中国产的MEMS 器件质量正逐年提升,中国MEMS传感器企业能否重塑全球市场?Yole认为关键似乎在于中国企业在MEMS技术上能否达到博世或意法半导体那样的性能水平。
如果不能,未来十年内中国MEMS产业的情况将大致如此——如上文Yole对中国MEMS产业的预测,如果能够,整个 MEMS 产业将发生变革——就如同全球MEMS麦克风行业。
年产338000片MEMS晶圆,中国MEMS芯片代工增长14.3%,本土MEMS产能仅占2%!国产MEMS传感器未进入智能化时代,存在许多挑战
显然,中国MEMS产业水平要在未来几年实现对全球市场的颠覆,关键在于中国MEMS厂商能否拿出与博世、意法半导体等巨头媲美的MEMS器件量产产品。
与其他先进芯片不同的是,MEMS器件要达到相应性能水平,不仅要求MEMS芯片设计能力跟上,MEMS芯片的工艺制造能力,亦有不少的困难需要克服。
MEMS设计+制造工艺的结合,是博世、意法半导体等全球MEMS巨头的底气,这也是为什么全球头部的MEMS公司多为IDM企业。
目前,中国大多数 MEMS 相关企业采用无晶圆厂Fabless/轻晶圆厂Fablite模式,主要从代工厂采购晶圆。
然而中国MEMS产业近年来得到了资本持续、充分的投入,多家公司已获得大量融资用于MEMS晶圆生产线的建设和研发,表明投资者对微机电系统(MEMS)行业依然充满信心。
Yole报告显示,2024年,中国的MEMS代工业务同比增长 14.3%——显著高于MEMS产业的8.4%,其中赛微电子(SMEI )和芯联集成(UNT) 等公司表现尤为突出,尤其是在麦克风制造领域。
2024 年,中国加工了 338,000 片 MEMS 晶圆,Yole预计到 2030 年中国MEMS产量将增至 438,000 片晶圆。
在持续的资本投入和政策支持下,多家中国MEMS IDM公司大力投资晶圆生产线,以确保供应链的独立性,如睿创微纳(Raytron)、士兰微(Silan)、奥松电子(Aosong Electronics)等。
需要指出的是,虽然中国加大了MEMS晶圆产线的投入,但据报告数据显示,2024年中国本土(除台湾省)的MEMS晶圆产量仅占全球的2%,中国台湾省的MEMS晶圆产量份额为6%。
与此同时,北美地区的MEMS晶圆产量份额占比达26%,欧盟占比31%,日本占比19%,除中国外的亚洲地区占比12%。
由此可见,中国本土MEMS晶圆出货量仍较匮乏,折射出中国本土的MEMS传感器产业高端化十分不足。

中国的研究中心和高校正在开展高端微机电系统(MEMS)和核心技术的研究,其中一些被列为国家战略技术研究项目,而另一些具有商业价值的研究成果则通过融资孵化成初创公司。
中国鼓励校企合作,因此这些项目可能会获得一些国家资金支持。一些研究人员也从事自主创业,但近年来整体市场上的创业公司数量并不多。
中国MEMS厂商在部分器件领域已达到一定的成熟度,包括:
音频器件:MEMS 麦克风行业的主要企业来自中国。该技术成熟,供应链完善,研发和创新充满活力,中国厂商旨在提供高性能器件并与世界其他厂商展开竞争。微型扬声器器件方面,中国企业也在积极研发,但仍处于开发阶段。
惯性传感器:由于中国公司涉足该领域的时间较短(与其他地区相比),陀螺仪以及惯性测量单元(IMU)的成熟度仍然较低。然而,中国公司在惯性传感器领域,包括微机电系统(MEMS)设计、专用集成电路(ASIC)设计、测试和校准等方面的参与度正在不断提高,这让我们有理由期待未来几年内出现性能和可靠性更高的产品。
微镜:几年前,MEMS 微镜在汽车激光雷达应用领域展现出巨大的潜力。然而,由于 MEMS 微镜的性能和抗振性并未达到预期,因此 MEMS 技术似乎并非该应用的最佳选择。目前,中国公司从事微镜器件研发的企业主要面向数据中心等数据通信/电信应用领域,这些领域需要 MEMS 开关。
在中高端传感器技术方面,中国MEMS公司显著落后于国外巨头。
如今,像博世、意法半导体、TDK等厂商,已经将带有嵌入式智能的 MEMS 传感器纳入其产品组合,以提供更多特定能力,而中国的MEMS公司则仍主要专注于提供性能良好、可靠性高的器件。
中国还处于MEMS传感器的1.0阶段——打磨性能、可靠性,国外巨头已进入MEMS传感器的2.0阶段——AI智能化。

结语
当前中国MEMS产业仍集中于中低端消费电子领域,中国MEMS公司要做出市场突破的关键,在于拿出性能及可靠性等各方面参数与博世、意法半导体这些巨头媲美的产品,这里同时面临MEMS芯片设计、量产工艺制造的等技术挑战。
在Yole对中国MEMS产业未来发展的预测中,显然对中国MEMS公司在这些领域的突破,持谨慎态度。
从Yole的这份关于中国MEMS产业的独立市场报告中,我们或许能够看到:中国MEMS产业的高端化仍面临重重困难,任重道远。
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